| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Beschichtung aus einer Gettermetall-Legierung und eine Anordnung udn ein Verfahren zur Herstellung derselben. Dabei besteht die Beschichtung aus einer nicht-verdampfenden Gettermetall-Legierung (2) für eine Innenwand (3) eines Hochvakuumbehälters (4). Dabei ist die Gettermetall-Legierungsbeschichtung (1) von Edelgaseinschlüssen unbelastet und weist ein Metall-Legierungsabscheidungsprodukt eines edelgasfreien Gettermetall-Legierungsplasmas 6 aus. Die Anordnung besteht im wesentlichen aus einem Metallplasmagenerator (7), der seinerseits einen Isolationskörper (8) aufweist, der eine Zündelektrode (9) und einen Kathodendraht (10) aus einer Gettermetall-Legierung (2) trägt. Diese drei Komponenten sind von einem käfigartigen Anodenkörper (13) umgeben, der mit dem Isolationskörper (8) in den zu beschichtenden Hochvakuumbehälter (5) hineinragt und von einer Spannungsversorgungseinrichtung (16) mit Kathodenpotential (12), Hochspannungszündimpuls (19) und Anodenpotential (14) versorgt wird, wobei der Anodenkörper (13) zusammen mit dem Hochvakuumbehälter (4) auf Massepotential gelegt ist. Bevorzugt werden mit dieser Anordnung Hochvakuumbehälter (5) von Strahlführungsrohren einer Ionenstrahlbeschleunigungsanlage beschichtet, um darin Ultrahochvakui zu erzeugen.</p> |
