发明名称 y形过滤装置
摘要 本发明提出一种y形过滤装置,此y形过滤装置至少包括一伸长导管,用以连接至一液体流系统,例如半导体制造中所使用之湿性洗涤器中或冷却水系统;一典型锥状滤器壳体,其系以相对于该伸长导管之一纵轴的转角方向从该伸长导管延伸出;一典型可移除地锥状滤器,其系容纳在该滤器壳体内;以及一排泄阀门装置,其系设在该滤器壳体之一端上,用以定期地将颗粒物从该滤器排出。
申请公布号 TW552155 申请公布日期 2003.09.11
申请号 TW091125323 申请日期 2002.10.25
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 古义榔;何雨生
分类号 B01D47/06 主分类号 B01D47/06
代理机构 代理人 李长铭 台北市南京东路二段五十三号九楼;翁仁滉 台北市南京东路二段五十三号九楼
主权项 1.一种y形过滤装置,至少包括:一伸长导管;一滤器壳体,其系以相对于该伸长导管之一纵轴的转角方向从该伸长导管延伸出;一滤器,其系容纳在该滤器壳体内;以及一排泄阀门装置,其系设在该滤器壳体上。2.如申请专利范围第1项之y形过滤装置,其中该滤器系可移除式地容纳在该滤器壳体内。3.如申请专利范围第1项之y形过滤装置,其中该滤器壳体和该滤器之形状为一实质上的锥体。4.如申请专利范围第3项之y形过滤装置,其中该滤器系可移除式地容纳在该滤器壳体内。5.如申请专利范围第2项之y形过滤装置,其更包括一顶盖开口和一顶盖,其中该顶盖开口系设在该伸长导管内,用以移除和置换在该滤器壳体内之该滤器,该顶盖则与该伸长导管接合,用以可逆性地(reversibly)关闭该顶盖开口。6.如申请专利范围第5项之y形过滤装置,其中该滤器壳体和该滤器之形状为一实质上的锥体。7.如申请专利范围第1项之y形过滤装置,其更包括一对凸缘,其中该对凸缘系分别设在该伸长导管的各端内。8.如申请专利范围第7项之y形过滤装置,其中该滤器壳体和该滤器之形状为一实质上的锥体,该滤器系可移除式地容纳在该滤器壳体内,且该y形过滤装置更包括一顶盖开口和一顶盖,其中该顶盖开口系设在该伸长导管内,用以移除和置换在该滤器壳体内之该滤器,该顶盖则与该伸长导管接合,用以可逆性地(reversibly)关闭该顶盖开口。9.如申请专利范围第1项之y形过滤装置,其中该y形过滤装置系使用于湿性洗涤器。10.如申请专利范围第1项之y形过滤装置,其中该y形过滤装置系使用于冷却水系统。11.如申请专利范围第4项之y形过滤装置,其中该滤器的宽后端系延伸入该伸长导管内部,并衔接该伸长导管之内部面。12.如申请专利范围第4项之y形过滤装置,其中该排泄阀门装置包括一阀壳体和一阀驱动器,该阀壳体设置于在该滤器壳体之窄细端上,该阀驱动器经由一连接器与该阀壳体相连接,用以控制该排泄阀门装置之启闭,以便让液体流过阀通道或抑制液体流经阀通道。13.如申请专利范围第12项之y形过滤装置,其中该阀驱动器包含电性螺线管阀驱动器、气动阀驱动器和油压阀驱动器。14.一种湿性洗涤器,其至少包括:一洗涤反应室;一流体排出管,用以连通该洗涤反应室之流体;一伸长导管,具有一第一端和一第二端,其中该第一端用以连通该流体排出管之流体,该第二端与该第一端有间隔;一流体回流管,用以连通该伸长导管之该第二端的流体;一滤器壳体,其系以相对于该伸长导管之一纵轴的转角方向从该伸长导管延伸出;一滤器,其系容纳在该滤器壳体内;以及一排泄阀门装置,其系设在该滤器壳体上。15.如申请专利范围第14项之湿性洗涤器,其中该滤器系可移除式地容纳在该滤器壳体内。16.如申请专利范围第15项之湿性洗涤器,其更包括一顶盖开口和一顶盖,其中该顶盖开口系设在该伸长导管内,用以移除和置换在该滤器壳体内之该滤器,该顶盖则与该伸长导管接合,用以可逆性地(reversibly)关闭该顶盖开口。17.如申请专利范围第16项之湿性洗涤器,其中该滤器壳体和该滤器之形状为一实质上的锥体。18.如申请专利范围第14项之湿性洗涤器,其更包括一第一压力监测器、一第二压力监测器和一控制器,其中该第一压力监测器设在该流体排出管,用以测量一第一流体压力;该第二压力监测器设在该流体回流管,用以测量一第二流体压力;该控制器连接至该第一压力监测器、该第二压力监测器和该排泄阀门装置,当该第一压力监测器所测得之该第一流体压力超过该第二压力监测器所测得之该第二流体压力达到一预定値时,用以作动该排泄阀门装置。19.如申请专利范围第18项之湿性洗涤器,其中该预定値为至少约5 psi。20.一种冷却水系统,其至少包括:一冷却塔;一排水管,用以连通该冷却塔之水;一伸长导管,具有一第一端和一第二端,其中该第一端用以连通该排水管之水,该第二端与该第一端有间隔;一回流管,用以连通该伸长导管之该第二端的水;一滤器壳体,其系以相对于该伸长导管之一纵轴的转角方向从该伸长导管延伸出;一滤器,其系容纳在该滤器壳体内;以及一排泄阀门装置,其系设在该滤器壳体上。21.如申请专利范围第20项之冷却水系统,其中该滤器系可移除式地容纳在该滤器壳体内。22.如申请专利范围第21项之冷却水系统,其更包括一顶盖开口和一顶盖,其中该顶盖开口系设在该伸长导管内,用以移除和置换在该滤器壳体内之该滤器,该顶盖则与该伸长导管接合,用以可逆性地(reversibly)关闭该顶盖开口。23.如申请专利范围第22项之冷却水系统,其中该滤器壳体和该滤器之形状为一实质上的锥体。24.如申请专利范围第20项之冷却水系统,其更包括一第一压力监测器、一第二压力监测器和一控制器,其中该第一压力监测器设在该排水管,用以测量一第一水压;该第二压力监测器设在该回流管,用以测量一第二水压;该控制器连接至该第一压力监测器、该第二压力监测器和该排泄阀门装置,当该第一压力监测器所测得之该第一水压超过该第二压力监测器所测得之该第二水压达到一预定値时,用以作动该排泄阀门装置。25.如申请专利范围第24项之冷却水系统,其中该预定値为至少约5 psi。图式简单说明:图一A为具有y形过滤装置的习知废气处理系统之湿性洗涤器的系统架构示意图;图一B,为具有y形过滤装置的习知冷却水系统的系统架构示意图;图二为习知的y形过滤装置之架构示意图;图三为根据本发明之一实施例所提出的可自动冲洗y形过滤装置之架构示意图;图四为根据本发明之y形过滤装置除去滤器、顶盖和排泄阀门装置的一部份示意图;图五系该滤器的侧视图;图六系运用本发明之可自动冲洗的y形过滤装置的湿性洗涤器;和图七系运用本发明之可自动冲洗的y形过滤装置的冷却水系统。
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