发明名称 EINBRENNEN UND TESTEN EINES HALBLEITERWAFERS
摘要
申请公布号 DE69723976(D1) 申请公布日期 2003.09.11
申请号 DE19976023976 申请日期 1997.05.15
申请人 FORMFACTOR, INC. 发明人 KHANDROS, Y.;PEDERSEN, V.
分类号 G01R1/067;G01R1/073;G01R31/316;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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