发明名称 Stacked capacitor DRAM cell and method of producing the same
摘要
申请公布号 EP0977257(A3) 申请公布日期 2003.09.10
申请号 EP19990202431 申请日期 1999.07.23
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 TSU, ROBERT YUNG-HSI;HO, CHI-CHIEN
分类号 H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/92;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/02 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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