发明名称 用顶部籽晶法生长晶体时籽晶的激光对中法
摘要 本发明涉及一种顶部籽晶法生长晶体时籽晶对中的方法,运用激光方向性好、亮度高等性质,对籽晶方向的偏离进行放大、纠正,将一束激光(4)照射籽晶(1)的头部,然后通过反射镜(3)观察反射光斑在参照墙上(5)的位置,在转动籽晶杆(2)时调整籽晶杆(2)以使反射光斑在参照墙上(5)的位置基本不变,达到籽晶对中的目的。
申请公布号 CN1441091A 申请公布日期 2003.09.10
申请号 CN02104315.9 申请日期 2002.02.25
申请人 中国科学院福建物质结构研究所 发明人 吴喜泉;吴少凡;李敢生
分类号 C30B15/20;C30B15/34;C30B35/00 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
主权项 1.用顶部籽晶法生长晶体时籽晶的激光对中法,其特征在于:该方法采取以下步骤:1)先将籽晶(1)头部人为破出一个解理面,然后装入籽晶杆(2)中,并将籽晶杆(2)和单晶炉连接好;2)将反射镜(3)放在籽晶杆(2)下部的合适位置,使其能够反射远处的He-Ne光(4);3)将He-Ne光(4)通过反射镜(3)照射到籽晶(1)头部上,再经反射镜(3)反射到墙上,光斑的合适位置通过转动反射镜(3)来实现;4)转动并不时地调整籽晶杆(2),使参照墙(5)上的光斑画弧不超出所要求的范围。
地址 350002福建省福州市西河