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发明名称 METHOD FOR DETERMINING AN ENDPOINT AND SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 EP1340248(A2) 申请公布日期 2003.09.03
申请号 EP20010997842 申请日期 2001.11.19
申请人 MOTOROLA, INC.;HAGGART, DAVID;GLASHAUSER, WALTER 发明人 HAGGART, DAVID;GLASHAUSER, WALTER
分类号 B24B49/02;B24B37/04;H01L21/304;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/310 主分类号 B24B49/02
代理机构 代理人
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