半导体制造设备控制系统中配置设备单元工作状态控制法

摘要

一种半导体制造设备的控制系统中配置设备单元的状态控制方法，其中，主计算机中包括有预定的单元状态监控模块，通过单元状态监控模块能实时识别不正常工作单元，当识别出正常工作单元时立即将其与正常工作流程分开，结果，防止了由不正常工作单元造成的工作问题并提高了设备的生产力。

主权项

1.一种在半导体制造系统中用于控制设备的方法，该方法包括：在半导体制造系统中连续接收来自设备的实时工作数据，该工作数据表明该设备的单元的工作条件；从数据库中检索对应于该设备的参考数据，该参考数据表明各个单元的工作范围；确定该工作条件是否在所有单元的工作范围内；如果工作条件在所有单元的工作范围内，就返回到所述自动接收工作状态数据步骤；如果工作条件不在特定单元的工作范围内，改变变量ID中与该特定单元相应的关键值，表明该特定单元的工作状态的改变；并修改该特定单元的工作状态，包括：在所述改变关键值之后，把变量ID插入到设备控制消息中，并将该设备控制消息下载到该设备中。