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发明名称 Reactor assembly and processing method
摘要
申请公布号 AU2003213000(A8) 申请公布日期 2003.09.02
申请号 AU20030213000 申请日期 2003.02.10
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 DAVID FERRIS;DAVID KINNARD
分类号 H01L21/3065;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/00;C23C16/50;H01J37/32 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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