发明名称 组件之制造方法及具金属层与绝缘层之组件
摘要 一种改良贵金属层(28)及绝缘层(34)间的黏着之方法被提出,其中矽层被放置于该贵金属层(28)及该绝缘层(34)间。藉由在氧化环境下的热处理,矽层被矽化及氧化,产生氧化的矽化物层(30'),其具贵金属及所形成氧化物的高度相互混合。所达成相当大的内表面结果为改良该贵金属层(28)及该绝缘层(34)间的黏着。
申请公布号 TW200303576 申请公布日期 2003.09.01
申请号 TW092102599 申请日期 2003.02.07
申请人 亿恒科技公司 发明人 茨福尼米尔 加布里克;维尔讷 帕姆勒尔;福尔克尔 魏因里希
分类号 H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人 蔡清福
主权项
地址 德国