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经营范围
发明名称
组件之制造方法及具金属层与绝缘层之组件
摘要
一种改良贵金属层(28)及绝缘层(34)间的黏着之方法被提出,其中矽层被放置于该贵金属层(28)及该绝缘层(34)间。藉由在氧化环境下的热处理,矽层被矽化及氧化,产生氧化的矽化物层(30'),其具贵金属及所形成氧化物的高度相互混合。所达成相当大的内表面结果为改良该贵金属层(28)及该绝缘层(34)间的黏着。
申请公布号
TW200303576
申请公布日期
2003.09.01
申请号
TW092102599
申请日期
2003.02.07
申请人
亿恒科技公司
发明人
茨福尼米尔 加布里克;维尔讷 帕姆勒尔;福尔克尔 魏因里希
分类号
H01L21/283
主分类号
H01L21/283
代理机构
代理人
蔡清福
主权项
地址
德国
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