发明名称 蓄冷型冷冻机
摘要 提供一种可使被冷却对象的冷却和昇温高速化的蓄冷型冷冻机。其具体构造为具备由压缩机4a、高压变换阀4b和低压变换阀4c构成的压力控制装置4、具有室温端部1a和低温端部1b的膨胀压缩部1以及具有室温端部2a和低温端部2b的蓄冷部2,热传导至被冷却对象的蓄冷型冷冻机,这是设有连结膨胀压缩部的低温端部1b与蓄冷部的低温端部2b,并且延伸至被冷却对象7的作动气体流动路径8的蓄冷型冷冻机。藉此,可大幅提高冷冻机的运转率,可广泛适用于感测器类成半导体制造装置的用途。
申请公布号 TW550366 申请公布日期 2003.09.01
申请号 TW091113515 申请日期 2002.06.20
申请人 空气与水股份有限公司 发明人 国谷 晋吾;宫本笃;垣见康浩;三条大辅;渡边岳利
分类号 F25B9/00 主分类号 F25B9/00
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种蓄冷型冷冻机,是具备由压缩机、高压变换阀和低压变换阀的压力控制装置、两端具有室温端部和低温端部的膨胀压缩部以及两端具有室温端部和低温端部的蓄冷部,热传导至被冷却对象的蓄冷型冷冻机,设有连结前述膨胀压缩部的低温端部与前述蓄冷部的低温端部,并且延伸至前述被冷却对象的作动流体流动路径。2.一种脉动管冷冻机,是具备两端具有室温端部和低温端部的脉动管、两端具有室温端部和低温端部的蓄冷部,连通前述脉动管的室温端部,控制作动气体的压力变动和相位差的相位控制装置以及连通前述蓄冷部的室温部,由压缩机、高压变换阀和低压变换阀构成的压力控制装置,热传导至被冷却对象的脉动管冷冻机,设置连结前述脉动管的低温端部与前述蓄冷器的低温端部,并且延伸至前述被冷却对象的作动气体流动路径。图式简单说明:第1图是说明GM冷冻机的基本构造和作动原理的概略图。第2图是说明脉动管冷冻机的基本构造和作动原理的概略图。第3图是显示于本发明蓄冷型冷冻机中以被冷却物为对象的脉动管冷冻机构造例的图面。第4图是显示本发明蓄冷型冷冻机中以被冷却空间为对象的脉动管冷冻机构造例的图面,又是实施例的本发明例所采用冷凝气瓣处理的概略构造的图面。第5图是显示比较例所采用冷拟气瓣处理的概略构造的图面。第6图是比较配管型冷冻机与板型冷冻机冷却时的冷却温度和时间变迁的图表。第7图是比较配管型冷冻机与板型冷冻机昇温再生时的加热温度和时间变迁的图表。
地址 日本