| 主权项 |
1.一种三维量测仪,其具有一机台,该机台上设有一平台,该平台上架设有一可沿该平台X轴移动之桥架,该桥架上滑设有一沿该平台Y轴移动之移动座,该移动座中具有一沿该平台Z轴移动之轴杆,且该轴杆之底端具有一感测探针,而该桥架之两侧分别向下延伸一支撑臂,以分别与该平台一侧接触,各该支撑臂与该平台之接触面分别设有数空气轴承,其特征在于:该桥架其中一支撑臂的数空气轴承中,至少一空气轴承之一侧设有一预压弹性体,该预压弹性体之一端系抵撑于该空气轴承相对该平台之一侧,而另一端则抵撑于该支撑臂内部,该预压弹性体具有一设定之预压,以供维持一定之压力于该空气轴承。2.依申请专利范围第1项所述之三维量测仪,其中该桥架之两侧分别向下延伸一主支撑臂与一副支撑臂,该主支撑臂及副支撑臂之底端系分别接触于该平台之一侧,且该平台对应该主支撑臂之底端向下凹限一第一导槽,以供该主支撑臂底端对应该第一导槽之底面及一侧面接触,并沿该第一导槽滑动,而该平台对应该副支撑臂之底端向下凹限一第二导槽,以供该副支撑臂底端对应该第二导槽之底面及一侧面接触,并沿该第二导槽滑动,而该主支撑臂及该副支撑臂之底端对应该第一导槽及第二导槽之底面及一侧面分别设有数空气轴承,而该预压弹性体系设于该副支撑臂对应该主支撑臂其中一空气轴承之一侧。3.依申请专利范围第1项所述之三维量测仪,其中该移动座内对应该桥架之顶、底接触面设有数空气轴承,且其中一接触面之至少一空气轴承的一侧设有该预压弹性体。4.依申请专利范围第1项所述之三维量测仪,其中该轴杆对应该移动座之两侧接处面分别设有数空气轴承,且其中一接触面之至少一空气轴承的一侧设有该预压弹性体。5.依申请专利范围第1项所述之三维量测仪,其中该空气轴承具有一本体,该本体之一侧具有一导气面,以供与相对移动之接触面接触,而该本体相对该导气面之另一侧具有一半球状之容置槽,该容置槽之底部具有一凹槽,该凹槽之中间具有一贯通该导气面之出气孔,而该容置槽内设有一受压球,该受压球中具有一与该凹槽相通之进气道。图式简单说明:第1图系本创作之立体外观图第2图系本创作之前视图第3图系本创作桥架副支撑臂接触平台部份之剖视图第4图系本创作空气轴承稳定支撑之示意图第5图系习用三维量测仪之前视图第6图系习用三维量测仪内空气轴承与平台接触之示意图 |
