发明名称 整合于用以侦测半导体基材承载器之感应器的定位栓
摘要 一种用于半导体基材承载器之储存表面具有整合有定位栓之基材承载器感应器。每一定位栓包含一栓体安装在其表面上并由该表面向上延伸。栓体具有一槽形成于栓体的上部份。一叶片系安装在栓体的槽中并当一基材承载器座落于栓体上时,适用以致动于一朝下方向中。栓体具有一最高点,及当叶片被卸下时,叶片并未向栓体的最高点延伸。
申请公布号 TW550725 申请公布日期 2003.09.01
申请号 TW091114235 申请日期 2002.06.27
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 马丁R 伊里亚德;杰佛利C 哈德俊
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路一四八号十二楼
主权项 l.一种感应一基材承载器出现的设备,该设备至少包含:一表面,适用以收纳该基材承载器;一栓体安装于该表面上并由该表面向上延伸,该栓体具有一垂直延伸槽形成于其中,在该栓体的上部份处;及一叶片,安装在该栓体的槽中,该叶片系适用以当基材承载器被放置于栓体上时,以一向下方向被致动。2.如申请专利范围第1项所述之设备,其中上述之栓体具有一最高点,该叶片系可移动于一第一位置及一第二位置之间,当没有基材承载器出现时,该叶片系可以被保持于该第一位置,及当该叶片系于第一位置时,该叶片并未延伸超出该栓体的最高点。3.如申请专利范围第2项所述之设备,其中上述之叶片当叶片于第一位置时,该叶片由该栓体的最高点以两方向向外延伸。4.如申请专利范围第3项所述之设备,其中上述之叶片当其于第二位置时,该叶片并未延伸超出栓的任一部份。5.如申请专利范围第1项所述之设备,更包含一插塞于栓体内并连接至该叶片,用以当叶片被致动时,以一向下方向移动。6.如申请专利范围第5项所述之设备,更包含一穿透式感应器,安装在该表面下,该穿透式感应器投射出一光束,其系适用以当叶片被致动时,为该插塞的下端所截断。7.如申请专利范围第6项所述之设备,更包含一弹簧适用以偏压该插基及叶片于一向上方向。8.如申请专利范围第1项所述之设备,更包含:一穿透式感应器,安装于邻近于基材的凹陷面中之栓体附近;及一致动器,与该叶片一体成型并适用以当叶片被致动时,中断该穿透式感应器的光束。9.一种用以收纳一基材承载器的站台,至少包含一表面;三个栓,安装在该表面上,该三个栓界定一具有一圆心的圆形,每一栓具有一叶片安装于其上,该等叶片系可以为放置于该表面上的基材承载器所致动,每一叶片系实质平坦并界定一个别平面,每一叶片系被安装于个别栓上,使得由该叶片所界定之平面系实质垂直于延伸于个别栓及圆形的圆心间的一直线。10.如申请专利范围第9项所述之站台,其中上述之每一栓具有一垂直延伸槽形成于其中,于该槽中安装有该个别的叶片。11.如申请专利范围第10项所述之站台,更包含三个穿透式感应器,每一感应器可作动地连接至一个别栓,以予以为连接一个片叶片的致动件所致动。12.一种用以感应一基材承载器出现的方法,至少包含步骤:安装一栓体于一适用以收纳该基材承载器的表面上,该栓体由该表面向上延伸并具有一槽形成于该栓体的上部份;安装一叶片于该栓体的槽中;及当基材承载器放置于该栓体上时,以一向下方向作动该叶片。13.如申请专利范围第12项所述之方法,其中上述之栓体具有一最高点,该叶片系可移动于一第一位置及第二位置之间,当没有基材承载器出现时,该叶片系被夹持于第一位置中,当叶片系于第一位置时,该叶片系不会超出该栓体的最高点。14.如申请专利范围第12项所述之方法,更包含反应于该叶片的作动,而截断该穿透式感应器的一光束。15.如申请专利范围第14项所述之方法,其中该光束系为一连接至该叶片的插塞所截断。16.如申请专利范围第14项所述之方法,其中上述之光束系为与叶片一体成型之L型致动器所截断。17.如申请专利范围第12项所述之方法,更包含将叶片偏压向上方向。18.一种与定位栓一体成型的感应器,该感应器至少包含:一栓体,具有一槽形成于该栓体中;及一叶片,安装于该栓体的槽中,以当该基材承载器放置于栓体上时,该叶片系适用以一向下方向被作动。19.如申请专利范围第18项所述之感应器,其中上述之栓体具有一最高点,该叶片系可移动于一第一位置及 一第二位置之间,当没有基材承载器出现时,该叶片系被夹持于第一位置中,当该叶片于第一位置时,该叶片并未超出该栓体的最高点外。20.如申请专利范围第19项所述之感应器,其中上述之叶片当于第一位置时,由该栓体的最高点,以水平向外延伸于两方向中。图式简单说明:第1图为提供于本发明之一实施例中并适用以收纳及感应一基材承载器之出现的架子的俯视等角投影图;第2图为一传统基材承载器的仰视图;第3图为提供于依据本发明之一实施例之整合定位栓与基材承载器的分解图;第4图为第3图之整合定位栓及基材承载器感应器的侧视图;及第5图为依据本发明之另一实施例所提供之整合定位栓及基材承载器的等角投影图。
地址 美国