| 主权项 |
1.一种防止外罩与晶舟分离之晶圆盒,包括:一晶舟,具有一基座以及复数个插槽,上述插槽系设于基座之上方;一外罩,系为一具有下方开口之罩体,其可以将晶舟覆盖住使其下方之开口与晶舟之基座相结合;以及复数个转动插梢,系设于上述晶舟之基座下方,当上述插梢转动至结合位置时可将晶舟固定于外罩上,并在转动至释放位置时造成晶舟与外罩之分离;其特征在于:外罩在插梢之结合位置处设有感应装置,其可以对插梢产生感应,并对外发出感应讯号以确认外罩与晶舟是否确实结合。2.如申请专利范围第1项所述之防止外罩与晶舟分离之晶圆盒,其中该晶舟系包括25个插槽且每个插槽系可以承载一片晶圆。3.如申请专利范围第1项所述之防止外罩与晶舟分离之晶圆盒,其中外罩前方系设有一ID面板可显示晶圆盒之作业内容。4.如申请专利范围第1项所述之防止外罩与晶舟分离之晶圆盒,其中上述插梢系以四个为最佳,并以对称方式设置于晶舟之基座下方。5.如申请专利范围第1项所述之防止外罩与晶舟分离之晶圆盒,其中设于插梢之结合位置之感应装置系为感应电路,且所有的感应电路系互相串联,因此所有插梢必须转动至结合位置时,感应装置才会对外发出感应讯号以确认外罩与晶舟确实结合。6.如申请专利范围第3项所述之防止外罩与晶舟分离之晶圆盒,其中该感应装置可以将感应讯号传送至外罩前方之ID面板,使操作员可以由判读该ID面板以确认外罩与晶舟是否确实结合。7.如申请专利范围第1项所述之防止外罩与晶舟分离之晶圆盒,其中晶圆盒之外罩设有一显示器,其可以接收感应装置所发出之感应讯号并产生显示功能。8.如申请专利范围第1项所述之防止外罩与晶舟分离之晶圆盒,其中插梢系为一具有磁性之金属结构,其可以在插梢转动至结合位置时与感应装置产生磁电感应,使感应装置发出感应讯号以确认外罩与晶舟确实结合。图式简单说明:图一A、一B系为习知技术之晶圆盒示意图;图二A、二B系为本创作之防止外罩与晶舟分离之晶圆盒示意图。 |
