MONOCHROMATOR MIRROR FOR THE EUV-SPECTRAL RANGE

摘要

Monochromatorspiegel für den EUV-Spektralbereich mit einer auf ein Substrat aufgebrachten Schichtanordnung, die eine periodische Abfolge von zwei eine Periode mit der Periodendicke d bildenden Einzelschichten (A,B) unterschiedlicher Materialien als Spacer-Schicht bzw. als Absorber-Schicht aufweist, so dass die Reflektivität der zweiten oder einer höheren Bragg-Ordnung verwendet wird und wobei d eine Grössenabweichung von höchstens plusminus 3% aufweist und wobei das Verhältnis der Schichtdicke der Absorber-Schicht zur Periodendicke kleiner ist als das Verhältnis von 0,8 zur verwendeten Ordnung der Bragg-Reflexion.