发明名称 |
八氟丙烷的制备和用途 |
摘要 |
一种八氟丙烷的制备方法,该方法包括在氟化催化剂存在下,于150-450℃温度下,使六氟丙烯与氟化氢在气相中反应得到2H-七氟丙烷的步骤(1)和在没有催化剂存在下,于250-500℃温度下使步骤(1)中所得的2H-七氟丙烷与氟气在气相中反应以得到八氟丙烷的步骤(2),由该方法可得到能用于制备半导体器件工艺的高纯度八氟丙烷。 |
申请公布号 |
CN1438979A |
申请公布日期 |
2003.08.27 |
申请号 |
CN01802661.3 |
申请日期 |
2001.08.27 |
申请人 |
昭和电工株式会社 |
发明人 |
大野博基;大井敏夫 |
分类号 |
C07C19/08;C07C17/087;C07C17/10;C07C17/383;H01L21/30;C11D7/50 |
主分类号 |
C07C19/08 |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 |
代理人 |
段承恩;刘金辉 |
主权项 |
1.一种制备八氟丙烷的方法,所述方法包括:(1)在氟化催化剂存在下,于约150-450℃温度下使六氟丙烯与氟化氢在气相中反应得到2H-七氟丙烷的步骤;以及(2)在没有催化剂存在下,于约250-500℃温度下使在步骤(1)中得到的2H-七氟丙烷与氟气在气相中反应得到八氟丙烷的步骤。 |
地址 |
日本东京 |