发明名称 |
PROCEDE DE GRAVURE LATERALE PAR TROUS POUR FABRIQUER DES DIS POSITIFS SEMI-CONDUCTEURS |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2795554(B1) |
申请公布日期 |
2003.08.22 |
申请号 |
FR19990008248 |
申请日期 |
1999.06.28 |
申请人 |
FRANCE TELECOM |
发明人 |
SKOTNICKI THOMAS;JURCZAK MALGORZATA |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/336;H01L21/762;H01L29/06;H01L29/51;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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