发明名称 PROCEDE DE GRAVURE LATERALE PAR TROUS POUR FABRIQUER DES DIS POSITIFS SEMI-CONDUCTEURS
摘要
申请公布号 FR2795554(B1) 申请公布日期 2003.08.22
申请号 FR19990008248 申请日期 1999.06.28
申请人 FRANCE TELECOM 发明人 SKOTNICKI THOMAS;JURCZAK MALGORZATA
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/762;H01L29/06;H01L29/51;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/302 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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