| 主权项 |
1.一种感光性树脂组成物,包括硷溶性树脂、感光性物质,和具有下式一所示参变数(P)値在30以上的酚性羟基之化合物:式中重氮偶合反应点数系指化合物中苯环羟基之邻位、对位无取代基之碳数;其中具有酚性羟基之该化合物系指如下化学式(I)~(V)所示,相对于前述硷溶性树脂为100重量份,其添加量为5.0至10.0重量份,式中R2.R2.R3.R4彼此单独,亦可相同,代表氢原子,C1-C10烷基、羟苯基、多羟苯基、羟苯乙基、羟基、聚(羟苯基)甲基或双(羟基)羟苯基,R5和R6彼此单独,亦可相同,代表氢原子,C1-C10烷基、乙醯基、羟基、羟苯醯基或羟 基,R7代表氢原子,C1-C10烷基、C3-C10环烷基、羟基,又,上述取代基中,苯环亦可有C1-C10烷基、C1-C10烷氧基等其他取代基取代,而k、m、n、p、q代表0或1~5整数者。2.如申请专利范围第1项之感光性树脂组成物,其中具有酚性羟基之该化合物系4,4'-[1-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]联酚,或4,4'-[1,4-伸苯双(1-甲基亚乙基)]双[苯-1,2,3-三醇]者。3.一种感光性树脂组成物之乾蚀刻耐性改善方法,系藉包括硷溶性树脂、感光性物质,和具有申请专利范围第1项之式一所示参变数(P)値在30以上的酚性羟基之化合物达成者。4.如申请专利范围第3项感光性树脂组成物之乾蚀刻耐性改善方法,其中具有酚性羟基之该化合物,系指如申请专利范围第1项之化学式(I)~(V)所示,且含有式一所示参变数(P)値30以上的酚性羟基之化合物者。5.如申请专利范围第4项感光性树脂组成物之乾蚀刻耐性改善方法,其中具有酚性羟基之该化合物系4,4'-[1-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]联酚,或4,4'-[1,4-伸苯双(1-甲基亚乙基)]双[苯-1,2,3-三醇]者。 |
