| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM ÄTZEN VON HALBLEITERSCHEIBEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69718142(T2) |
申请公布日期 |
2003.08.21 |
| 申请号 |
DE1997618142T |
申请日期 |
1997.02.14 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP., FREMONT |
发明人 |
ABRAHAM, C. |
| 分类号 |
C04B41/53;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/321 |
主分类号 |
C04B41/53 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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