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发明名称 Resistzusammensetzungen und Strukturierungsverfahren
摘要
申请公布号 DE60003873(D1) 申请公布日期 2003.08.21
申请号 DE20006003873 申请日期 2000.05.19
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 KINSHO, TAKESHI;NISHI, TSUNEHIRO;WATANABE, TAKERU;HASEGAWA, KOJI;NAKASHIMA, MUTSUO;HATAKEYAMA, JUN
分类号 H01L21/027;C07C69/00;C07C69/013;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;(IPC1-7):C07C9/00;C07C69/34;C07C69/608 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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