| 发明名称 |
FIXED ABRASIVE POLISHING TOOL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG97909(A1) |
申请公布日期 |
2003.08.20 |
| 申请号 |
SG20000004363 |
申请日期 |
2000.08.01 |
| 申请人 |
EBARA CORPORATION |
发明人 |
KAZUTO HIROKAWA;HIROKUNI HIYAMA;YUTAKA WADA;HISANORI MATSUO |
| 分类号 |
B24D3/02;B24B7/22;B24D3/00;B24D3/34;C09K3/14;H01L21/304;(IPC1-7):B24D3/34;B24D17/00;H01L21/463 |
主分类号 |
B24D3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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