| 发明名称 |
ROTATIONAL SLURRY DISTRIBUTION SYSTEM FOR ROTARY CMP SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG97788(A1) |
申请公布日期 |
2003.08.20 |
| 申请号 |
SG19990001973 |
申请日期 |
1999.04.27 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD |
发明人 |
SEBASTIAN QUEK, SER WEE |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B57/02;(IPC1-7):B24B7/00;B24B29/00 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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