| 发明名称 |
Tandem plasma mass filter |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1220293(A3) |
申请公布日期 |
2003.08.20 |
| 申请号 |
EP20010201375 |
申请日期 |
2001.04.13 |
| 申请人 |
ARCHIMEDES TECHNOLOGY GROUP, INC. |
发明人 |
OHKAWA, TIHIRO |
| 分类号 |
H05H1/00;B01D59/48;H01J49/26;H01J49/28;H01J49/30;H05H1/46;(IPC1-7):H01J49/48;B01D59/44 |
主分类号 |
H05H1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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