| 发明名称 |
300 mm microenvironment pod with door on side |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
USRE38221(E1) |
申请公布日期 |
2003.08.19 |
| 申请号 |
US20010943098 |
申请日期 |
2001.08.30 |
| 申请人 |
ENTEGRIS INC |
发明人 |
GREGERSON BARRY;GALLAGHER GARY;WISEMAN BRIAN |
| 分类号 |
B65D85/48;B65D;G11B33/04;G11B33/14;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):B65D85/90 |
主分类号 |
B65D85/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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