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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCTION OF NITROGEN TRIFLUORIDE
摘要
申请公布号 KR20030067587(A) 申请公布日期 2003.08.14
申请号 KR20030007854 申请日期 2003.02.07
申请人 发明人
分类号 C01B21/083;B01F3/04;B01F5/02;B01F5/06;B01J10/00;B01J19/24;C01B7/19;C01C1/16 主分类号 C01B21/083
代理机构 代理人
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