| 发明名称 | 用于等离子体处理中故障识别的方法 | ||
| 摘要 | 一种在由射频源供电的等离子体处理中故障识别的方法，首先包含：对于给定的基线等离子体处理，确定射频源的多个傅立叶分量的幅度变化，该变化是由多个处理输入参数相对它们的基线值而变化所导致的。把这些幅度变化存储为参考数据。在后续的产品运行期间，监视等离子体处理的故障，并且若发现有故障，则以与原始基线标称值相同的输入参数来重复基线处理。确定傅立叶分量对于原始基线值的变化，并与参考数据比较，以确定哪个(些)参数发生了变化。 | ||
| 申请公布号 | CN1436360A | 申请公布日期 | 2003.08.13 |
| 申请号 | CN01811324.9 | 申请日期 | 2001.06.18 |
| 申请人 | 科学系统研究有限公司 | 发明人 | 约翰·斯坎伦;贾斯廷·劳勒;斯蒂芬·丹尼尔斯 |
| 分类号 | H01J37/32 | 主分类号 | H01J37/32 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 黄小临;王志森 |
| 主权项 | 1.一种在由射频源供电的等离子体处理中故障识别的方法，包含以下步骤：(a)对于给定的基线等离子体处理，确定射频源的多个傅立叶分量的幅度变化，该变化是由多个处理输入参数相对它们的基线值而变化所导致的，(b)把所述幅度变化存储为参考数据，(c)在后续的产品运行期间运行等离子体处理，(d)在所述产品运行期间确定等离子体处理中是否有故障，(e)若有故障，则以与步骤(a)的基线标称值相同的输入参数来重复基线处理，(f)对于重复的基线处理，确定所述傅立叶分量的幅度，和(g)比较步骤(f)所确定的数据与参考数据，以确定哪个(些)参数发生了变化。 | ||
| 地址 | 爱尔兰都伯林 | ||