研磨处理设备及采用编码研磨产品的方法

摘要

一种用于研磨处理制品(24)的设备(20)和方法包括使用设有代表类型各异的信息的可机器辨别的图案的研磨产品(30)。当研磨产品相对于制品移动时阅读图案，并用于控制研磨产品(30)相对于制品(24)的移动。图案可包括可机器辨别的电学特征、光学特征、标高特征或磁性特征中的一种或多种。阅读图案可包括以电、光、机械或磁性中的一种或多种方式来阅读设置在研磨产品上的可机器辨别的图案。该图案可包括标记、突部、凹部、孔、空洞、颜色或颜料变化、条型码、磁性转变或周期性记号中的一种或多种。图案可包括索引信息、伺服信息、校准信息或研磨产品标识信息中的一种或多种。利用伺服/索引图案信息可对研磨产品的移动进行闭环伺服控制。研磨产品可构成可移动的垫件和研磨浆。该垫件(30)可以受控的方式相对于制品(24)移动，以使垫件(30)和研磨浆研磨接触制品(24)。可在清洁操作之后阅读设置在垫件上的图案。信息系统可用于存储部分地来自于研磨产品的图案信息的使用的多种类型的数据。所存储的数据可用于多种标识、跟踪、计算、存货、处理和统计目的。

主权项

1.一种研磨处理制品的方法，包括：提供包含有可机器辨别的图案的研磨产品，所述可机器辨别的图案位于所述研磨产品上的多个位置上；将所述研磨产品相对于所述制品移动；阅读位于所述研磨产品的多个位置上的所述可机器辨别的图案；以及在所述制品的研磨处理期间，利用可机器辨别的图案来控制研磨产品相对于制品的移动。