主权项 |
1.一种乾式真空帮浦,至少包含:一外壳,至少具有一进气口及一排气口;一旋片式真空帮浦,至少具有转子、一对旋片及定子缸体,该旋片式真空帮浦系装设于前述外壳中;一涡卷式真空帮浦,至少具有一固定不动之固定涡卷及运动之绕动涡卷,该涡卷式真空帮浦系装设于前述外壳中;及一马达传动轴,系用于驱动前述涡卷式真空帮浦之绕动涡卷与前述旋片式真空帮浦之转子,其中前述旋片式真空帮浦系设于进气口之侧,及前述涡卷式真空帮浦系设于排气口之侧,以提供由旋片式真空帮浦进气、由旋片式真空帮浦排气进入涡卷式真空帮浦进气空间及由涡卷式真空帮浦排气之串联着旋片式真空帮浦及涡卷式真空帮浦之进、排气路径。2.如申请专利范围第1项所述之乾式真空帮浦,其中前述转子以所设沟槽安装着前述一对旋片。3.如申请专利范围第2项所述之乾式真空帮浦,其中前述旋片系由石墨材质制成。4.如申请专利范围第1项所述之乾式真空帮浦,其中前述转子系以偏心方式安置于前述定子缸体内部之回转空间。5.如申请专利范围第1项所述之乾式真空帮浦,其中前述转子及藉由弹簧推压之旋片系抵接于定子缸体之缸壁。6.如申请专利范围第1项所述之乾式真空帮浦,其中前述定子缸体之排气口由一排气阀控制启开及封闭。7.如申请专利范围第1项所述之乾式真空帮浦,其中前述外壳进一步设有右端板,该右端板与涡卷式真空帮浦之绕动涡卷间复设有滚珠式防自转机构;及,前述外壳进一步设有左端板,且该左端板系位于旋片式真空帮浦之左侧。图式简单说明:图一系本创作乾式真空帮浦由图二及图五X-X线所视之剖面结构图。图二系本创作乾式真空帮浦所应用之习知旋片式真空帮浦之结构图。图三系图二习知旋片式真空帮浦之转子旋转动作之一例。图四系图二习知旋片式真空帮浦之转子旋转动作之另例。图五本创作乾式真空帮浦所应用之习知涡卷式真空帮浦之结构图。 |