发明名称 METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20030066387(A) 申请公布日期 2003.08.09
申请号 KR20030006093 申请日期 2003.01.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/322 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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