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发明名称 Method and arrangement for imaging and measuring of microscopic three-dimensional structures
摘要
申请公布号 EP1235049(A3) 申请公布日期 2003.08.06
申请号 EP20020100052 申请日期 2002.01.23
申请人 LEICA MICROSYSTEMS HEIDELBERG GMBH 发明人 OLSCHEWSKI, FRANK;NICKEL, JOCHEN
分类号 G01B9/04;G01B11/03;(IPC1-7):G01B9/04;G01N21/31;G02B21/00 主分类号 G01B9/04
代理机构 代理人
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