| 发明名称 |
METHOD FOR APPLYING A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1332516(A1) |
申请公布日期 |
2003.08.06 |
| 申请号 |
EP20010988946 |
申请日期 |
2001.10.15 |
| 申请人 |
SUESS MICROTEC LABORATORY EQUIPMENT GMBH |
发明人 |
MUFFLER, PIRMIN, GERHARD |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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