双凸固体浸入式镜头

摘要

本发明揭露一种双凸固体浸入式镜头。与知平凸固体浸入式镜头具有一平底面不同的是，该揭露之镜头具有一凸底部表面。该底部表面之曲率半径系小于待检物件。此构造可较准确地决定待检特征之位置，且增强浸入式镜头与待捡物件间之光耦合。在此揭露之镜头特别适用于检测半导体装置，且特别是覆晶(或晶片等级)封包装置之显微镜。此浸入式镜头也可用于光学记忆媒体的读取或读/写头中。