| 主权项 |
1.一种对准工具,用以对准于一工件操纵系统中承载一工件之机械手臂刀叶与一为该系统之平台所界定之基准面,该对准工具至少包含:一框架,具有一基座,适用以为该系统之平台所支撑,该框架更具有多数感应器安装件;及多数非接触距离感应器,安装至该等感应器安装件上;其中该框架界定一开口,定位于基座及该等感应器之间,该开口系大小足以收纳一为该机械手臂刀叶所承载于感应器及该基座之间的目标,及其中,该等感应器系为该等感应器安装件所定位,以量测为该机械手臂刀叶所承载之目标之相对于该基座板的指向。2.如申请专利范围第1项所述之对准工具,其中上述之系统更包含一室,具有一地板及一机械手臂承载该机械手臂刀叶,及其中该平台包含该室的地板及该地板界定该基准面。3.如申请专利范围第2项所述之对准工具,其中上述之基座包含多数脚,适用以啮合至该地板。4.如申请专利范围第3项所述之对准工具,其中上述之基座包含一为该多数脚所支撑之基座板,上述之框架更包含一顶板承载该感应器安装件,及多数托架间隔开顶板在基座板之上。5.如申请专利范围第1项所述之对准工具,其中上述之目标界定一平面及该等多数非接触距离感应器包含三感应器,每一感应器系定以量测于该感应器与一在目标平面上之分隔位置间之距离,以决定相对于该基准面之目标平面的空间定向。6.如申请专利范围第5项所述之对准工具,其中上述之每一感应器包含一光学感应器。7.如申请专利范围第6项所述之对准工具,其中上述之每一感应器包含一雷射,其系适用以发射一雷射束至该目标。8.一种对准工具,用以对准在工件操纵系统中承载一工件之机械手臂刀叶与一为该系统之平台所界定之基准面,该平台具有一支撑面,该对准工具至少包含:一框架,适用以为该平台支撑面所支撑,该框架具有一参考表面及一第一支撑面,定位以啮合该平台支撑面并支撑该参考表面,以与平台支撑面离开一第一预定距离;及一第一距离感应器,定位以量测该参考表面离开该感应器之距离,并量测一目标离开该感应器的距离,其中该目标系适用以为该机械手臂刀叶所承载。9.如申请专利范围第8项所述之对准工具,其中上述之距离感应器系被承载于该框架内。10.如申请专利范围第8项所述之对准工具,其中上述之距离感应器包含一雷射头。11.如申请专利范围第8项所述之对准工具,其中上述之第一距离感应器系定位以量测由感应器至该参考表面之第一位置的距离,并量测由该感应器至该目标之第一位置的距离,该工具更包含一第二距离感应器,定位以量测由该第二感应器至该参考表面之第二位置的距离及量测由该第二感应器至该目标的第二位置的距离。12.如申请专利范围第11项所述之对准工具,其中上述之系统具有一机构,用以沿着第一方向调整该机械手臂刀叶的指向,其中该第一及第二感应器系沿着平行第一方向的一线排列。13.如申请专利范围第12项所述之对准工具,更包含一第三距离感应器,定位以量测由该第三感应器至参考表面之第三位置的距离,并量测由该第三感应器至该目标的第三位置的距离。14.如申请专利范围第13项所述之对准工具,其中上述之系统具有一机构,用以沿着第二方向调整该机构手臂刀叶的指向,其中该第二及第三感应器系沿着平行该第二方向的一线排列。15.一种对准工具,用以对准承载有在一工件处理系统之机械手臂室中之工件的机械手臂刀叶与一由该系统之室的地板面所界定之基准面,该对准工具至少包含:一框架,适用以为该支撑地板所支撑,该框架具有多数脚,适用以啮合该地板,以支撑该框架于该地板面上;及一距离感应器,附着该框架并定位以量测为该室中之机械手臂刀叶所承载之目标离开该感应器的距离。16.一种对准工具,用以对准承载有一在工件操纵系统之一室中之工件的机械手臂刀叶与一由该系统之支撑面所界定之基准面,该对准工具至少包含:一框架,适用以为该系统支撑面所支撑;及多数非接触距离感应器,定位于该框架内,以相对于在框架内之参考面,量测为该机械手臂刀叶所承载的目标的指向。17.如申请专利范围第16项所述之对准工具,其中上述之系统具有一室,其具有一地板,界定一基准面及该框架具有一参考表面,其界定一在该基准面上一预定高度处之参考面。18.如申请专利范围第17项所述之对准工具,其中上述之参考面系实际平行于该基准面。19.如申请专利范围第18项所述之对准工具,其中上述之参考表面包含三个分离之共平面次表面。20.如申请专利范围第16项所述之对准工具,其中上述多数距离感应器系定位以量测在为机械手臂刀叶所承载之目标的多数位置相对于该参考面之距离。21.如申请专利范围第20项所述之对准工具,其中上述之每一感应器包含一为框架所承载之雷射距离感应器,并定位以量测在为该机械手臂刀叶所承载之目标上之多数位置相对于该参考面的距离之一。22.如申请专利范围第20项所述之对准工具,更包含一显示器,用以显示为该机械手臂刀叶所承载之目标上之多数位置相对于该参考面之每一量测距离的数値代表。23.如申请专利范围第16项所述之对准工具,更包含一显示器,用以显示为该参考面相对于为机械手臂刀叶所承载之目标之量测指向的数値代表及图形代表之至少一项。24.如申请专利范围第20项所述之对准工具,更包含一计算器,用以计算于为机械手臂刀叶所承载之目标的多数位置之选定位置之选定量测距离相对于该参考面间之差。25.如申请专利范围第24项所述之对准工具,更包含一显示器,用以显示为该机械手臂刀叶所承载之目标上之多数位置的选定位置相对于该参考面之每一选定量测距离间计算差的数値代表。26.一种对准承载一工件于一工件操纵系统中之机械手臂刀叶相对于为该系统之平台所界定之基准面的方法,该方法至少包含步骤:定位一框架之基座于该系统之平台上,该框架更包含多数感应器安装件及多数距离感应器安装于该感应器安装件上;移动为该机械手臂刀叶所承载之目标通过该框架的一开口,到感应器及基座间之框架内的一位置;量测为该机械手臂刀叶所承载之目标相对于该基准面的指向。27.如申请专利范围第26项所述之方法,其中上述之定位包含定位该基座于一室的地板上。28.如申请专利范围第27项所述之方法,其中上述之定位包含将基座的多数脚定位于该地板上。29.如申请专利范围第26项所述之方法,其中上述之定位包含啮合一框架基座支撑面于一平台支撑面上,使得该框架的一参考表面系为支撑至离开平台支撑表面一第一预定距离;及其中该量测包含量测该参考表面离开一距离感尘器之距离及量测目标离开距离感应器之距离。30.如申请专利范围第26项所述之方法,其中上述之量测包含发射来自一距离感应器之雷射头之雷射束。31.如申请专利范围第29项所述之方法,其中上述之量测包含量测由第一感应器至该参考表面之第一位置的距离;量测由该第一感应器至该目标之第一位置的距离;量测由该第二感应器至该参考表面之第二位置的距离;及量测由该第二感应器至该目标的第二位置的距离。32.如申请专利范围第31项所述之方法,更包含沿着第一方向调整该机械手臂刀叶的指向,其中该第一及第二感应器系沿着平行第一方向的一线排列。33.如申请专利范围第32项所述之方法,其中上述之量测包含量测由一第三感应器至参考表面之第三位置的距离,并量测由该第三感应器至该目标的第三位置的距离。34.如申请专利范围第33项所述之方法,更包含沿着第二方向调整该机构手臂刀叶的指向,其中该第二及第三感应器系沿着平行该第二方向的一线排列。35.如申请专利范围第26项所述之方法,其中上述之参考表面界定一参考面,其系实际平行于该基准面。36.如申请专利范围第33项所述之方法,更包含显示为该机械手臂刀叶所承载之目标上之多数位置相对于该参考面之每一量测距离的数値代表。37.如申请专利范围第26项所述之方法,更包含显示为机械手臂刀叶所承载之目标相对于该基准面之量测指向的数値代表及图形代表之至少一项。38.如申请专利范围第29项所述之方法,其中上述之量测包含量测由第一感应器至该参考表面之第一位置的距离;量测由该第一感应器至该目标之第一位置的距离;量测由该第二感应器至该参考表面之第二位置的距离;量测由该第二感应器至该目标的第二位置的距离;量测由该第三感应器至该参考表面之第三位置的距离;及量测由该第三感应器至该目标的第三位置的距离。39.如申请专利范围第38项所述之方法,更包含计算于为机械手臂刀叶所承载之目标的多数位置之选定位置相对于该参考表面之选定量测距离间之差。40.如申请专利范围第39项所述之方法,更包含显示为该机械手臂刀叶所承载之目标上之多数位置的选定位置相对于该参考面之每一选定量测距离间之计算差的数値代表。41.一种对准工具,用以对准在工件操纵系统承载一工件的机械手臂刀叶相对于由该系统之一平台所界定之基准面,该对准工具至少包含:量测机构,用以相对于基准面量测为该机械手臂刀叶所承载之目标的指向,该量测机构包含多数距离感机构,用以量测于该目标及每一感应机构间之距离,及框架机构,具有一基座,用以安装该感应机构并支撑该感应机构于该系统的平台上,该框架机构具有一开口机构,用以容纳为机械手臂刀叶所承载的目标于该感应机构及该基座之间。42.如申请专利范围第41项所述之对准工具,其中上述之系统平台包含具一地板的一室,及其中该框架机构基座具有一定位机构,用以定位该基座于该室的地板上。43.如申请专利范围第42项所述之对准工具,其中上述之基准面系为该室的地板所界定。44.如申请专利范围第42项所述之对准工具,其中上述之基座定位机构包含多数脚,适用以停放在该地板上。45.如申请专利范围第41项所述之对准工具,其中上述之框架机构包含参考表面机构,用以提供一参考面平行该基准面并在基准面上一预定距离;及该量测机构包含量测机构,用以量测为该机械手臂刀叶所承载之目标相对于该参考面之指向。46.如申请专利范围第41项所述之对准工具,其中上述之感应机构包含雷射机构,用以发射一雷射束及检测机构,用以检测一雷射束。47.如申请专利范围第45项所述之对准工具,其中上述之第一感应机构包含量测机构,用以量测由第一感应机构至该参考表面之第一位置的距离,并量测由该第一感应机构至该目标之第一位置的距离;一第二感应机构,包含量测机构,用以量测由该第二感应机构至该参考表面之第二位置的距离及量测由该第二感应机构至该目标的第二位置的距离;及一第三感应机构,包含量测机构,用以量测由该第三感应机构至该参考表面之第三位置的距离及量测由该第三感应机构至该目标的第三位置的距离。48.如申请专利范围第47项所述之对准工具,更包含显示机构,用以显示为该机械手臂刀叶所承载之目标上之多数位置相对于该参考表面之每一量测距离的数値代表。49.如申请专利范围第41项所述之对准工具,更包含显示机构,用以显示为机械手臂刀叶所承载之目标相对于该基准面之量测指向的数値代表及图形代表之至少一项。50.如申请专利范围第47项所述之对准工具,更包含计算机构,用以计算于为机械手臂刀叶所承载之目标的多数位置之选定位置相对于该参考表面之选定量测距离间之差。51.如申请专利范围第50项所述之对准工具,更包含显示机构,用以显示为该机械手臂刀叶所承载之目标上之多数位置的选定位置相对于该参考表面之选定量测距离间之计算差的数値代表。52.一种对准工具,用以对准承载有在一传送室中之目标晶圆的机械手臂刀叶与一由该传送室的地板面所界定之基准面,该对准工具至少包含:一框架,具有多数脚,适用以为该传送室的地板所支撑,该框架更具有第一板,其界定一至少三个三角分隔之共平面参考表面,该框架更具有至少三个三角分隔之感应器安装件,一第二板承载该等感应器安装件,及多数托架间隔开该第一板及第二板;及至少三个雷射距离量测感应器,每一感应器系安装在一感应器安装件并定位以面向在该第一板上之参考表面;其中该框架界定一开口,定位于该参考表面及该感应器之间,该开口系大小足以容纳为该机械手臂刀叶所承载之目标于该等感应器及该等参考表面之间,及其中该等感应器系为该等感应器安装件所定位,以量测为该机械手臂刀叶所承载之目标相对于该共平面参考表面的指向。53.一种对准工具,用以对准在一工件操纵系统中承载一工件之机械手臂刀叶与一由该系统之平台所界定之基准面,该对准工具至少包含:多数固定件;一框架,具有一基座,适用以为该系统之平台所支撑,该框架更具有多数可动感应器安装件及多数固定表面,每一固定表面系适用以为一固定件所啮合;及多数非接触距离感应器,每一感应器系安装至一相关感应器安装件;其中该等固定件及该等框架固定表面系适用以选择地固定每一可动感应器安装件至该框架于一第一位置及偏移开第一位置的第二位置之一,其中该等感应器系为该等感应器安装件所定位于第一位置,以量测为一机械手臂刀叶所承载之目标相对于一基准面之指向,并且,该等感应器系为感应器安装件所定位至第二位置,以量测为一机械手臂刀叶所承载之第二尺寸之目标相对于一基准面的指向。54.如申请专利范围第53项所述之对准工具,其中上述之多数框架固定表面包含一第一组框架固定表面及一第二组框架固定表面,该第一组框架固定表面系被定位以固定该等感应器安装件于第一位置及该第二组框架固定表面系定位以固定该等感应器安装件于该第二位置。55.如申请专利范围第54项所述之对准工具,其中上述之第一组框架固定表面包含第一多数次组之框架固定表面,每一第一组框架固定表面的第一次组系相关于一感应安装件,及其中该第二组框架固定表面包含第二多数次组之框架固定表面,第二组框架固定表面之每一第二次组系相关于一感应器安装件并偏置于相对于一与同一感应器安装件相关之第一次组之固定表面。56.如申请专利范围第55项所述之对准工具,其中上述之每一固定件包含一长形件及每一框架固定表面界定一孔径,适用以接收一固定构件。57.如申请专利范围第56项所述之对准工具,其中上述之至少一固定件系为一螺丝固定件及至少一固定孔径界定一螺丝孔。58.如申请专利范围第56项所述之对准工具,其中上述之至少一固定件系为一定位销及至少一固定孔径系界定一定位孔。59.如申请专利范围第56项所述之对准工具,其中上述之固定件包含多数螺丝固定件及多数定位销,及其中每一次组框架固定表面包含至少一螺丝孔及至少一定位孔。60.如申请专利范围第53项所述之对准工具,其中上述之框架界定一轴及每一感应器包含一发光器及光接收器,该光接收器于当感应器于第一位置时,系较该感应器发光器靠近框架轴及当该感应器系于第二位置时,系较该感应器接收器更接近框架轴。61.如申请专利范围第60项所述之对准工具,其中当每一感应器于第一位置时,上述之每一感应器的发光器系对称于其框架轴排列及光接收器系对称于框架轴作排列,及该每一感应器于第二位置时,上述之每一感应器的发光器系对称于其框架轴排列及光接收器系对称于其框架轴。62.如申请专利范围第53项所述之对准工具,其中上述之工具具有三个感应器。63.如申请专利范围第61项所述之对准工具,其中上述之工具具有三个感应器,其系呈一等边三角形安排在第一位置中并在第二位置中安排为一等边三角形。64如申请专利范围第53项所述之对准工具,其中上述之感应器均具有一光束发射器及一光束接收器及该框架具有多数参考表面,每一参考表面系定位以反射发射自感应器之光回到该发光感应器的光束接收器。65.如申请专利范围第64项所述之对准工具,其中上述之多数参考表面包含第一组之参考表面及一第二组参考表面,当该等感应器系定位于第一位置时,第一组参考表面系定位以反射发射自一感应器的光束;及当诸感应器系位于第二位置时,该第二组参考表面系定位以反射发射自一感应器的光束。66.如申请专利范围第53项所述之对准工具,其中上述之框架界定一开口位于该基座及诸感应器之间,该开口系大小足以容纳为机械手臂刀叶所承载之目标于该等感应器及该基座之间,及其中该等感应器系为该等感应器安装件所固定,以量测为机械手臂刀叶所承载之目标相对于该基准面之指向。67.如申请专利范围第53项所述之对准工具,其中上述之系统包含一室,其具有一地板及一机械手臂承载该机械手臂刀叶,及其中该平台包含该室之地板及该地板界定该基准面。68.如申请专利范围第67项所述之对准工具,其中上述之基座包含多数脚,适用以啮合该地板。69.如申请专利范围第68项所述之对准工具,其中上述之基座包含一为该等脚所支撑之基座板,该框架更包含一顶板承载该感应器安装件,及多数托架分隔开该顶板于基座板之上。70.如申请专利范围第66项所述之对准工具,其中上述之目标界定一平面及该等非接触距离感应器包含三感应器,每一感应器系定位以量测于该感应器及目标平面上之分离位置间之距离,以决定目标平面相对于该基准板之空间指向。71.如申请专利范围第70项所述之对准工具,其中上述之每一感应器包含一光学感应器。72.如申请专利范围第71项所述之对准工具,其中上述之每一感应器包含雷射,适用以发射一雷射光束至该目标上。73.如申请专利范围第53项所述之对准工具,其中上述之系统具有一室,其具有一界定一基准面之地板及该框架具有一参考表面,其界定在该基准面上一预定高度之参考面。74.如申请专利范围第73项所述之对准工具,其中上述之参考面系实质平行于该基准面。75.如申请专利范围第74项所述之对准工具,其中上述之参考面包含一第一组之三个分离之共平面次表面。76.如申请专利范围第75项所述之对准工具,其中上述之参考面包含一第二组之三个分离之共同面次表面。77.如申请专利范围第73项所述之对准工具,其中上述之多数距离感应器系定位以量测为机械手臂刀叶所承载之目标上之多数位置相对于参考面的距离。78.如申请专利范围第77项所述之对准工具,其中上述之每一感应器包含一为该框架所承载之雷射距离感应器,诸感应器并定位以量测为该机械手臂刀叶所承载之目标上之多数位置相对于参考面之诸距离之一。79.如申请专利范围第77项所述之对准工具,更包含一显示器,用以显示为该机械手臂刀叶所承载之目标上之多数位置相对于该参考面之每一量测距离的数値代表。80.如申请专利范围第77项所述之对准工具,更包含一显示器,用以显示相对于为该机械手臂刀叶所承载之目标之参考面的量测指向的数値代表及图形代表之至少一项。81.如申请专利范围第77项所述之对准工具,更包含计算器,用以计算于为机械手臂刀叶所承载之目标的多数位置之选定位置相对于该参考面之选定量测距离间之差。82.如申请专利范围第81项所述之对准工具,更包含显示器,用以显示为该机械手臂刀叶所承载之目标上之多数位置的选定位置相对于该参考面之选定量测距离间之计算差的数値代表。83.一种对准工具,用以对准于一工件操纵系统内承载一工件之机械手臂刀叶与由该系统之平台所界定之基准面,该对准工具至少包含:一框架,具有一基座,适用以为该系统之平台所支撑,该框架更具有多数可动感应器安装件及多数非接触距离感应器,每一感应器系被安装至一相关感应器安装件;及固定机构,用以选择地固定每一可动感应器安装件至框架上之第一位置及偏移开第一位置之第二位置之一,其中诸感应器系为感应器安装件所定位于第一位置,以量测为一机械手臂刀叶所承载之第一大小之目标相对于一基准面的指向并系为该等感应器安装件所定位至第二位置,以量测为一机械手臂刀叶所承载之第二大小的目标相对于一基准面的指向。84.一种对准于一工件操纵系统内承载一工件之机械手臂刀叶与由该系统之平台所界定之基准面的方法,该对准方法至少包含步骤:放置一框架,其在第一工件操纵系统之第一平台上具有一基座,用于第一尺寸之工件;量测第一尺寸之工件的指向,藉由使用为固定至该框架之多数感应器安装件所承载之诸非接触距离感应器,每一感应器安装件于第一位置相对于该框架承载有一非接触距离感应器;由该框架卸下多数感应器安装件;再固定每一感应器安装件至该框架上,使得该等感应器系被承载于相对于该框架的第二位置,该第二位置系偏移开第一位置;放置该框架于一第二工件操纵系统之第二平台上,用于第二尺寸之工件;及量测该第二尺寸之工件的指向,藉由使用被固定至该框架之多数感应器安装件所承载之非接触距离感应器,每一感应器安装件承载一非接触距离感应器于相对该框架的第二位置。85.一种对准工具,用以对准于一传送室内承载一目标之机械手臂刀叶与由该传送室之地板所界定之基准面,该对准工具至少包含:一框架,具有多数脚,适用以为该传送室之地板所支撑,该框架更具有一第一板,其界定第一组三个三角分隔共平面参考表面及第二组三个三角分隔共平面参考表面,该框架更具有至少三个三角分隔感应器安装件,一第二板,适用以选择地承载感应器安装件于第一位置及第二位置之一,及多数托架分隔开第一板及第二板;及三雷射距离量测感应器,每一感应器系被安装至一感应器安装件并当三安装件被定位于第一位置时,被定位以面向在第一板上之第一组三参考表面之一参考表面,并当三安装件被定位于第二位置时,被定位以面向第二组之三参考表面之一参考表面;其中该框架界定一开口,定位于该等参考表面及诸感应器久间,该开口系大小足以容纳一为机械手臂刀叶所承载之目标晶圆于诸感应器及该等参考表面之间,及其中诸感应器系被感应器安装件所定位以量测为该机械手臂刀叶所承载之目标晶圆相对于一组共平面参考表面之指向。图式简单说明:第1图为具有两真空隔绝室之典型沉积室的俯视图。第2图为放置于一卡匣操纵系统之平台上之典型晶圆卡匣的前视图。第3图为第2图之晶圆卡匣的部份示意图,其描绘出晶圆放于一槽中及一晶圆被由槽中拾取。第3A图为第3图之晶圆卡匣的放大部份示意图,其描绘一晶圆放置于一槽中及一晶圆由槽中拾取。第4图为依据本发明之一实施例的卡匣对准工具系统的示意图。第5图为第4图之量测机台卡匣侧视图。第6A、6B及6C图为第5图之量测机台之部份剖面俯视图,显示各种配置之距离感应器。第7图为第4图之系统的界面控制器的显示示意图。第7A图为第4图之电脑显示,描述用于一校正程序之输入-输出萤幕。第8图为第4图之量测机台卡匣之前视图。第9图为第4图之电脑显示中用于校正及定水平程序之输入-输出萤幕的示意图。第10图为第9图之萤幕一部份的放大图,显示用于典型卡匣操纵平台之定水平输入。第11图为第4图之系统的界面控制器显示于晶圆水平量测程序的示意图。第12a图为第4图之量测机台卡匣的俯视图。第12b图为第4图之量测机台卡匣的侧视图。第12c图为第4图之量测机台卡匣的前视图。第12d图为第4图之量测机台卡匣的仰视图。第13图为一停放于量测机台卡匣之参考表面上之倒着晶圆的部份示意图。第14图为第4图之量测机台卡匣的前视图,显示倒着之量测机台卡匣。第15图为依据本发明之另一实施例之机械手臂刀叶对准工具系统之示意图。第16图为第1图之传送室的俯视图,其中第15图之刀叶对准工具系安置于室中。第17图为第15图之机台量测工具的俯视图。第18图为第15图之机台量测工具的后视图。第19图为第15图之电脑显示的示意图,其描绘用于校正程序之输入-输出萤幕。第20图为第15图之量测机台工具的侧视图。第21图为第15图之电脑显示的示意图,其描绘一用于定水平程序之输入-输出萤幕。第22图为用以由雷射头感应器之取样信号之界面控制信号处理电路的示意图。第23a图为另一实施例的俯视图,描绘第一位置中之距离感应器。第23b图为第23a图之工具的俯视图,描绘于第二位置中之距离感应器。第24a图为第23a图之工具的侧视图,描绘于第一位置中之距离感应器。第24b图为第23a图之工具的侧视图,描绘于第二位置中之距离感应器。 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