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发明名称 Method for plasma deposition
摘要
申请公布号 EP0969120(B1) 申请公布日期 2003.07.30
申请号 EP19990119093 申请日期 1992.05.08
申请人 CELESTECH, INC. 发明人 CANN, GORDON L.;SHEPARD, CECIL B., JR.;MCKEVITT, FRANK L.
分类号 C23C16/26;C23C4/12;C23C16/27;C23C16/458;C23C16/50;C23C16/513;C30B29/04;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50;C23C16/44 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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