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发明名称 ANODE ASSEMBLY FOR PLATING AND PLANARIZING A CONDUCTIVE LAYER
摘要
申请公布号 EP1287185(A4) 申请公布日期 2003.07.30
申请号 EP20000990245 申请日期 2000.12.20
申请人 NU TOOL INC. 发明人 VOLODARSKY, RIMMA;VOLODARSKY, KONSTANTIN;UZOH, CYPRIAN;TALIEH, HOMAYOUN;YOUNG, DOUGLAS W.
分类号 C25D7/12;C25D17/12;C25D17/14;C25F3/30;C25F7/00;H01L21/288;H01L21/306;(IPC1-7):C25D17/00;B24B37/04;C25B9/12;C25B15/04;C25B15/08;C25D17/04;C25D17/06;H01L21/321;H01L21/768 主分类号 C25D7/12
代理机构 代理人
主权项
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