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发明名称 PLASMA TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号 AU2002359950(A1) 申请公布日期 2003.07.24
申请号 AU20020359950 申请日期 2002.12.27
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KIWAMU FUJIMOTO;JEONG JY;TAKASHI FUSE
分类号 H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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