FEEDTHROUGH CONTACTS AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME

摘要

Herstellen eines Durchgangskontaktes (34) zur Erzeugung einer leitfähigen Verbindung zwischen einer ersten Leiterbahn (18) und einer zweiten Leiterbahn (10). Zunächst wird eine Isolationsschicht (56) auf der ersten Leiterbahn (18), die sich bis in einen Kontaktbereich (74) erstreckt, gebildet, und ein sich bis zu dem Kontaktbereich (74) erstreckender Graben (66) für die zweite Leiterbahn (10) wird in der Oberseite (70) der Isolationsschicht (56) gebildet . Daraufhin wird eine Kontaktöffnung (76) im Kontaktbereich (74) gebildet, die sich von der Oberseite (70) bis zu der ersten Leiterbahn (18) erstrecktz, und in die der Graben (66) mündet, wobei die Weite der Kontaktöffnung grösser als die Weite des Grabens ist. Als letztes wird die Kontaktöffnung (76) mit einem leitfähigen Material (78) gefüllt, um den Durchgangskontakt (34) und die zweite Leiterbahn (10) im Kontaktbereich (74) zu erzeugen, so dass die Breite der zweiten Leiterbahn (10) im Kontaktbereich (74) selbstjustiert an die Grösse des Durchgangskontakts (76) angepasst ist.