电子束设备与成像设备

摘要

一种电子束设备，包括一个具有电子发射器件的电子源、用于控制从所述电子源发射的电子的电极、受到从所述电子源发射的电子束的照射的靶以及设置在所述电子源与所述电极之间的隔板，所述隔板的表面上带有半导体薄膜，该半导体薄膜与所述电子源和所述电极相电连接。

主权项

1.一种电子束设备，包括一个具有电子源的真空外壳，所述电子源包括一个电子发射器件，受所述的电子发射器件发射的电子束照射的靶；加有不同电势的一对电极；以及夹在所述一对电极之间的隔板，其特征在于所述的隔板覆有半导体膜，并且每个电极与半导体膜电接触，所述的电极中至少一个与所述的隔板贴合，通过导电接合部件机械地接合在接合面上，所述导电接合部件使所述电极电连接到半导体膜。