显示装置的制造方法和显示装置

摘要

一种生产率优越、且可防止对有机层损坏、形成上部电极而长期可靠性优越的显示装置的制造方法。该方法是在基板2上把下部电极4、含发光层有机层5以及上部电极6依次层叠，从上部电极侧6提取发射光的上面发光型的显示装置1的制造方法，在基板2上形成下部电极4，在下部电极4上形成含发光层的有机层5后，通过溅射法以7nm～21nm的膜厚在有机层5上形成含有锂的上部电极6作为阴极。上部电极6的锂重量组成比是0.1％～1.9％。通过溅射法形成上部电极6是以50nm/min以下的成膜速度进行。

主权项

1.一种显示装置的制造方法，所述显示装置是将下部电极、含有发光层的有机层以及上部电极依次层叠在基板上，从该上部电极侧提取发射光的上面发光型显示装置，其特征在于，在基板上形成下部电极，在该下部电极上形成含发光层的有机层之后，通过溅射法在该有机层上形成含锂的上部电极作为阴极。