发明名称 VERTICAL TRANSISTOR DRAM CELL AND METHOD OF MAKING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1328972(A2) 申请公布日期 2003.07.23
申请号 EP20010968929 申请日期 2001.09.19
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP. 发明人 SHEN, HUA
分类号 H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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