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发明名称 Verfahren und Anlage zur Schichtabscheidung und Verwendung der Anlage
摘要
申请公布号 DE4396720(C1) 申请公布日期 2003.07.17
申请号 DE19934396720 申请日期 1993.12.23
申请人 UNAXIS BALZERS AG, BALZERS 发明人 DUPONT, FRANCOIS;BERGMANN, ERICH
分类号 C23C14/34;C23C14/00;C23C14/40;C23C14/54;C23C14/58;(IPC1-7):C23C14/34;H01J37/34;C23C14/56 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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