| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR VERMINDERUNG DER EROSION EINER MASKE WÄHREND EINES PLASMAÄTZENS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AT244453(T) |
申请公布日期 |
2003.07.15 |
| 申请号 |
AT19990904542T |
申请日期 |
1999.02.02 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
WINNICZEK, JAROSLAW, W.;VAHEDI, VAHID |
| 分类号 |
H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
