| 摘要 |
<p>Vorrichtung zur Messung von Dickenänderungen sowie Änderungen der physikalisch-chemischen Eigenschaften dünner Schichten. Das System besteht aus einer vorzugsweise monochromatischen Lichtquelle (1), einem Scannerspiegel (2), einem vorzugsweise einseitig metallbeschichteten Prisma (3) und einem Photodetektorarray (6). Die dünne Schicht (5) wird durch das Prisma (3) mit Hilfe des Scannerspiegels (2) von verschiedenen Winkeln mit Licht bestrahlt. Das reflektierte Bild der Schicht zeigt bei geeigneter Wahl der Wellenlänge; Polarisation und ggf. des Metalls und der Filmdicke bei bestimmten Einstrahlwinkeln resonanzbedingte Intensitätsschwankungen, aus denen Schichtdicke und Brechungsindex errechnet werden können.</p> |
