用于处理全氟化合物的介电层放电装置及模组

摘要

一种用于处理全氟化合物的介电层放电装置及模组，其中介电层放电装置包括一外罩、一第一管状介电层设置于外罩内、一第二管状介电层设置于第一管状介电层内、以及至少一电极设置于外罩内；在外罩及第一管状介电层之间形成一第一冷却气体通道，在第一、二管状介电层之间形成一全氟化合物通道，而在第二管状介电层内为一第二冷却气体通道；当施加于电极的电压高于一崩溃电压时，全氟化合物通道内的高能电子，能使全氟化合物游离或解离，进而加以去除；第一、二冷却气体通道用于引入冷却气体以冷却该电极；介电层放电装置模组则是由复数个上述介电层放电装置所组成，其可根据全氟化合物流量而任意扩大处理容量。

主权项

1.一种用于处理全氟化合物的介电层放电装置，其特征是：包括：一外罩；一第一管状介电层设置在该外罩内，使得在该外罩及该第一管状介电层之间形成一第一冷却气体通道；一第二管状介电层设置在该第一管状介电层内，使得在该第一、二管状介电层之间形成一全氟化合物通道以引入全氟化合物气体，同时该第二管状介电层内为一第二冷却气体通道与该第一冷却气体通道相连通；至少一电极设置于该外罩内，在通电时提供能量使该全氟化合物气体崩溃游离而成为等离子；该第一、二冷却气体通道用于引入冷却气体以冷却该电极。