差动式螺旋形磁场感测装置和使用该装置的磁场检测组件

摘要

差动式螺旋形磁场感测装置包括设置成彼此平行的两个软磁薄片式磁心，为减少反磁场分量将每个软磁薄片式磁心在检测轴的方向上分成几部分，差动激磁线圈、磁通变化检测线圈和零磁场检测线圈一匝一匝地层压并缠绕在软磁薄片式磁心周围，并且没有外加磁场时不会由于磁通变化检测线圈产生电压波形。此外，为使软磁薄片式磁心的漏磁分量最小，将软磁薄片式磁心夹在中间以形成闭合磁路。

主权项

1.一种差动式螺旋形磁场感测装置包括：半导体基片；软磁薄片式磁心，压成薄片重叠在半导体基片上以形成闭合磁路；激磁线圈，由薄金属片形成用于对所述软磁薄片式磁心进行交替激磁；磁通变化检测线圈，由薄金属片制成用于检测所述软磁薄片式磁心中的磁通变化；和零磁场检测线圈，用于产生反磁场分量以消除由外加磁场产生的所述软磁薄片式磁心中的磁通变化；其中将两个软磁薄片式磁心设置成其中一个位于另一个的上方，并且所述激磁线圈、磁通变化检测线圈和所述零磁场检测线圈在所述软磁薄片式磁心中以螺旋形底层、中层和顶层线的形式层压于三个平面上。