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发明名称 ION IRRADIATOR
摘要
申请公布号 KR20030057411(A) 申请公布日期 2003.07.04
申请号 KR20020084838 申请日期 2002.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H05H3/02;G01R19/00;G21K5/04;H01J37/04;H01J37/244;H01J37/304;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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