| 摘要 |
<p>Ein Drucksensor zum Messen eines Meßdrucks umfaßt eine Druckkammer; und einen Verformungskörper, der mit einem unter dem Meßdruck stehenden Medium beaufschlagbar ist, und der ferner die Druckkammer zumindest teilweise begrenzt und diese von dem Medium druckdicht abschließt; wobei die Wände der Sensorkammer eine hydrophobe Beschichtung aufweisen, die durch Gasphasenabscheidung aufgebracht wurde. Die hydrophobe Beschichtung weist vorzugsweise Silane auf. Insbesondere sind Silane mit einer oder mehreren hydrophoben Gruppen R und einer oder mehreren Verankerungsgruppen X geeignet. Besonders Bevorzugt sind: R-Si-X3, R1R2-Si-X2, R1R2R3-Si-X. Die hydrophobe Gruppe R ist bevorzugt eine Alkyl-, Perfluoralky-, Phenyl-, oder Perfluorphenylgruppe. Die Verankerungsgruppe X ist bevorzugt ein -OH (Silanol), -X (Halogenid, z.B. -Cl), -OR (Ester, z.B. -OCH3), -NH2 (Amin), oder -SH (Mercaptosilan). Weiterhin können aliphatische oder cyclische Silazane -Si-NH-Si-, z.B. Hexamethyldisilazan, verwendet werden. Ebenfalls geeignet sind Verbindungen des Typs Ry-Me-Xz mit Me = z.B. Zr, Ti.</p> |
