发明名称 Sicherungen verbunden mit Kerbenbereichen und Randversiegelungen
摘要 Sicherungsstruktur mit einem Halbleitersubstrat mit einem darauf ausgebildeten Chip, einem Kerbenbereich (13) und einem leitfähigen Verbindungsglied (54), das eine Verbindung zwischen dem Chip und dem Kerbenbereich (13) bildet. Alternativ verbindet das Verbindungsglied (54) eine den Chip umgebende Randversiegelung (26) und einen Chipabschnitt. Ein Verfahren zur Ausbildung eines Bauelements auf einem Chip, die Festlegung einer Kerbe (13) in der Nähe des Chips und die Ausbildung eines leitfähigen Verbindungsglieds (54), das das Bauelement und die Kerbe (13) verbindet. Ein Ende (56) des leitfähigen Verbindungsglieds (54) wird durch Sägen, Ätzen oder Zerkleinern mit einem fokussierten Ionenstrahl entfernt. Ein Verfahren zur Ausbildung einer Halbleiterstruktur umfasst die Ausbildung eines Chips auf einem Halbleitersubstrat, wobei der Chip ein Bauelement aufweist, die Ausbildung einer Randversiegelung (26) entlang eines äußeren Umfangs des Chips und die Ausbildung eines leitfähigen Verbindungsglieds (54), das die Randversiegelung (26) und das Bauelement verbindet. Ein Abschnitt (56) des leitfähigen Verbindungsglieds wird durch Ätzen oder Zerkleinern mit einem fokussierten Ionenstrahl entfernt.
申请公布号 DE10252066(A1) 申请公布日期 2003.07.03
申请号 DE2002152066 申请日期 2002.11.08
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ALTFELD, HELGE;MERGENTHALER, EGON
分类号 H01L23/58;(IPC1-7):H01L23/62;H01L21/768 主分类号 H01L23/58
代理机构 代理人
主权项
地址