发明名称 Halbleitervorrichtung, die zum Eingrenzen eines fehlerhaften Punktes befähigt ist
摘要 Eine Halbleitervorrichtung umfasst einen inneren aktiven Bereich 3 mit einer auf einem Halbleitersubstrat 2 ausgebildeten ersten elektronischen Schaltung; einen äußeren aktiven Bereich 4, der zwischen den Kanten 2a, 2b des Halbleitersubstrates 2 und des inneren aktiven Bereiches 3 angeordnet ist, und eine auf dem Halbleitersubstrat 2 ausgebildete zweite elektronische Schaltung beinhaltet; eine Hauptverbindungskontaktfläche 6a zum Zusammenbau, die innerhalb eines Gegenüberlegungsbereiches 5, wo der innere aktive Bereich 3 im äußeren aktiven Bereich 4 gegenüberliegt, entlang der äußeren Peripherie des inneren aktiven Bereiches 3 ausgebildet ist; eine Unterverbindungskontaktfläche 7 zur Analyse, die außerhalb des Gegenüberlegungsbereiches 5 ausgebildet ist, wo der innere aktive Bereich 3 dem äußeren aktiven Bereich 4 gegenüberliegt; und eine Kontaktfläche-zu-Kontaktfläche-Zwischenverbindungsleiterbahn 8 zum Verbinden der Hauptverbindungskontaktfläche 6a mit der Unterverbindungskontaktfläche 7.
申请公布号 DE10237294(A1) 申请公布日期 2003.07.03
申请号 DE2002137294 申请日期 2002.08.14
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 SHIMOMURA, TAKEHIKO;WATANABE, KATSUYOSHI
分类号 H01L23/52;G01R31/28;G01R31/302;G01R31/305;G01R31/308;H01L21/3205;H01L21/60;H01L21/82;H01L21/822;H01L23/58;H01L27/04;(IPC1-7):H01L23/525;H01L21/66 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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