发明名称 |
Halbleitervorrichtung, die zum Eingrenzen eines fehlerhaften Punktes befähigt ist |
摘要 |
Eine Halbleitervorrichtung umfasst einen inneren aktiven Bereich 3 mit einer auf einem Halbleitersubstrat 2 ausgebildeten ersten elektronischen Schaltung; einen äußeren aktiven Bereich 4, der zwischen den Kanten 2a, 2b des Halbleitersubstrates 2 und des inneren aktiven Bereiches 3 angeordnet ist, und eine auf dem Halbleitersubstrat 2 ausgebildete zweite elektronische Schaltung beinhaltet; eine Hauptverbindungskontaktfläche 6a zum Zusammenbau, die innerhalb eines Gegenüberlegungsbereiches 5, wo der innere aktive Bereich 3 im äußeren aktiven Bereich 4 gegenüberliegt, entlang der äußeren Peripherie des inneren aktiven Bereiches 3 ausgebildet ist; eine Unterverbindungskontaktfläche 7 zur Analyse, die außerhalb des Gegenüberlegungsbereiches 5 ausgebildet ist, wo der innere aktive Bereich 3 dem äußeren aktiven Bereich 4 gegenüberliegt; und eine Kontaktfläche-zu-Kontaktfläche-Zwischenverbindungsleiterbahn 8 zum Verbinden der Hauptverbindungskontaktfläche 6a mit der Unterverbindungskontaktfläche 7.
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申请公布号 |
DE10237294(A1) |
申请公布日期 |
2003.07.03 |
申请号 |
DE2002137294 |
申请日期 |
2002.08.14 |
申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
SHIMOMURA, TAKEHIKO;WATANABE, KATSUYOSHI |
分类号 |
H01L23/52;G01R31/28;G01R31/302;G01R31/305;G01R31/308;H01L21/3205;H01L21/60;H01L21/82;H01L21/822;H01L23/58;H01L27/04;(IPC1-7):H01L23/525;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L23/52 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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