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发明名称 METHOD FOR CLEANING THE SURFACE OF A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1323187(A2) 申请公布日期 2003.07.02
申请号 EP20010979537 申请日期 2001.10.04
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 GOTKIS, YEHIEL
分类号 H01L21/304;B08B7/00;C11D11/00;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/306;B08B3/04;B24B37/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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