| 发明名称 |
METHOD TO DETECT SURFACE METAL CONTAMINATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1323188(A1) |
申请公布日期 |
2003.07.02 |
| 申请号 |
EP20010972334 |
申请日期 |
2001.10.05 |
| 申请人 |
AOTI OPERATING COMPANY, INC. |
发明人 |
HIGGS, VICTOR |
| 分类号 |
G01N21/64;G01N21/88;G01N21/95;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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